超纯水设备工艺流程的改进版本：
首先，源水在第Ⅰ级预处理系统中通过石英砂多介质过滤器进行初步净化，有效去除泥沙、铁锈、胶体物质及其他颗粒对有害的污染物。此时，可以自动或手动执行反冲洗和正冲洗等操作，以确保系统的持续运作。
接着，在第Ⅱ级预处理系统中，活性碳过滤器负责去除色素、异味以及生化有机物等，对水中的余氯值和农药污染进行降低。同样，这一阶段也可以自动完成反冲洗和正冲洗等一系列操作，以维持最佳运行状态。
第三个阶段是第Ⅲ级预处理系统，其中阳树脂被用于软化水并降低硬度，从而有效延长反渗透膜的使用寿命。这一步骤还可能采用阻垢剂添加系统以防止反渗透膜堵塞。
第四步，将源水进一步净化至5um孔径精密过滤器，使其达到优化浊度和色度，为后续RO系统提供理想条件，并增强设备寿命。
随后，在反渗透设备主机中，利用先进技术的高效率反渗透膜深度脱盐处理，同时去除钙、镁、铅、汞等重金属及杂质，使得脱盐率达99%以上，最终生产出符合国家标准的纯净水品质。
最后，一款杀菌装置如臭氧发生器（或紫外线杀菌器）会减少细菌二次污染，其灭菌效果可达99%以上保证了超纯水品质不受微生物影响。
超纯水设备结合单双级或双级反渗透与混床联用工艺，或采取EDI联用技术构建完整生产线。石英砂过滤器与保安过滤器共同组成前端预处理体系，分别清除悬浮物及其它污染因素，然后经过EDIdouble-layered reverse osmosis system+mixed bed deionization system process, or double-layered reverse osmosis system+electrodeionization (EDI) process.
进入此过程后的大分子材料被捕获并排斥，而经过这一系列复杂程序后的最终产品则完全符合电子行业所需之极限洁净标准。该超纯 水解决方案广泛应用于电子制造业、电镀加工、高科技研发实验室以及医药工业界内要求极致洁净条件下各项生产活动。
