超纯水设备工艺流程的关键步骤包括：首先，采用石英砂多介质过滤器进行第Ⅰ级预处理，自动或手动操作，以去除源水中的泥沙、铁锈、胶体物质和悬浮物。接着，在第Ⅱ级预处理中，用活性碳过滤器去除色素、异味以及其他有害污染物，并可以自动进行反冲洗等操作。然后，通过阳树脂软化系统降低水硬度并延长反渗透膜寿命，这是第Ⅲ级预处理的一部分，或使用阻垢剂防止反渗透膜堵塞。此外，还有5um孔径精密过滤器用于进一步净化，使RO系统进水条件符合要求，从而保证产水质量和设备寿命。
在实际应用中，利用深度脱盐技术的反渗透主机进行深度处理，可以有效去除钙、镁及其他重金属杂质，并且达到99%以上的脱盐率。最后，通过臭氧发生器或紫外线杀菌系统对产品实施杀菌处理，以确保灭菌率达99%以上，为最终产品提供纯净无污染的状态。
超纯水设备结合单双级反渗透+混床联用或双级反渗透+EDI联用工艺设计，其中包含石英砂过滤器和保安过滤器构成预处理系统，再经过二次高效分子筛保护层与混合床组合来提高整体性能。在进入EDIda单元前，大分子物质被有效排除，从而实现电除盐作用，最终使得生产出的超纯水符合国家标准，对电子、电镀、制药等行业至关重要。
