该运动解决方案的主要特点

配备光功率计、和对准算法的可扩展龙门，用于大面积光子元件测试和装配应用

高度可重复的运动路径

高分辨率线性编码器

高光功率计带宽和分辨率，可实现快速响应

使用先进的对准算法提高了吞吐量

1、XY轴步进和扫描

·无铁芯线性电机，可实现高动态、精密且平稳的运动，完成快速步进和扫描

·绝对编码器可避免参考并确保操作安全

·XY拖链电缆管理可保持电缆完整性并延长使用寿命

2、Z轴垂直运动

·高精度滚珠丝杠线性平台，配有步进电机和制动闸，运行可靠

·折叠式动力传动系统和紧凑型设计，可减少安装空间

·轻量化设计，可保持龙门动态性

·价格经济，交付时间短

3、Z轴距离控制

·音圈直接驱动电机，可实现无摩擦运行、高扫描频率与快速步进和稳定

·高分辨率线性编码器，可实现准确的位置反馈

·可调节的重力补偿，确保安全运行

·灵活的安装选配件，易于集成

4、灵活的自动化

·EtherCAT提供开放式网络连接

·将传感器输出转换为位置数据，可实现快速输出

·广泛的运动算法，可实现快速运动和稳定

·自动聚焦功能可实现动态聚焦调整