超纯水设备的工艺流程经过精心设计，分为六个关键步骤，以确保源水的彻底净化。首先，第Ⅰ级预处理系统采用石英砂多介质过滤器去除泥沙、铁锈和其他颗粒物；其次，第Ⅱ级预处理系统使用活性碳过滤器去除色素、异味和有害污染物。此外，还包括第三步中的阳树脂软化，使水硬度降低并延长反渗透膜寿命，以及第四步中5um孔径精密过滤器进一步净化水质。
在此基础上，第五步是核心环节——反渗透设备主机，它利用高效的脱盐技术去除重金属及杂质，并达到了99%以上的脱盐率。最后，在杀菌系统中，臭氧发生器或紫外线杀菌器进一步消灭细菌二次污染，使得最终产出的纯净水质量达到国家标准。
超纯水设备可以配置单双级反渗透+混床联用或者双级反渗透+EDI联用工艺。前两者通过石英砂过滤器和保安过滤器组成预处理系统，确保进入反渗透系统的原水无悬浮物与细菌病毒污染，而后进入EDId处理单元进行电除盐作用，最终实现超纯水平。此类产品广泛应用于电子、电镀、制药、医疗等行业，为这些领域提供了稳定可靠的清洁生产环境。
